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非晶硅中氟的浓度分布
非晶硅中氟的浓度分布
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:womjun
【摘 要】
:
本文用尖锐共振核反应法测定氟在非晶硅中的深度分布,为检验退卷积方法的适用范围,对能级宽度在1keV以下和1keV以上两种情况,对同一样品进行了测量。结果表明:在1keV以下退卷
【作 者】
:
钱景华
邵其鋆
张钰蓉
吴小凤
张阿根
张龙兴
【机 构】
:
上海教育学院,复旦大学
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
氟
非晶硅
浓度
分布
Fluorine Amorpnous-silicon Depth profile
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本文用尖锐共振核反应法测定氟在非晶硅中的深度分布,为检验退卷积方法的适用范围,对能级宽度在1keV以下和1keV以上两种情况,对同一样品进行了测量。结果表明:在1keV以下退卷积方法仍可适用。
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