硅外延双层结构的厚度测量

来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rserrrrr
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
硅外延是一种性能优良的半导体材料,在IGBT、大功率器件等领域中有着广泛的应用。FTIR(Fourier—Transform Infrared Spectrophotometry)技术是目前普遍采用的测量硅外延层厚度的先进方法,具有准确、快速、稳定、无损伤等其他方法无可比拟的优势。FTIR方法对于常规的低掺杂双层外延结构,只能测出两层外延的总厚度,而不能测出两个外延层分别的厚度。文章通过试验数据,证明了FTIR测试方法能够同时测量双层外延层结构的硅外延片的两层厚度,并提出了对中间层外延的电阻率的要求,同时
其他文献
氮(N)、磷(PO)、钾(KO)折算或常用量的方法是:1公斤纯氮=2.17公斤尿素=4.76公斤硫酸铵=5.88公斤碳酸氢铵。1公斤磷=8.33公斤过磷酸钙=10公斤钙镁磷肥。1公斤钾=1.67公斤氯化
期刊
批量印刷专家得可就其广受欢迎的Horizon丝网印刷设备,推出更多的增强功能。现配备尖端的新型罩盖,Horizon充分提高可用性和操作员使用,达到更高水平的制造灵活性。
世界范围内,宫颈癌的发病率处于较高水平,在所有女性恶性肿瘤中居第二位。而我国每年新增11万以上的宫颈癌患者,且每年约有2~3万女性死于宫颈癌。尽管通过手术联合放疗、化疗
得可太阳能日前宣布,委任太阳能部成员Martin Hewson为可替代能源系统业务经理。得可太阳能设立这个新的岗位,是顺应了市场对光伏专业技术需求不断增长的趋势,Martin将负责开
近30年来拉美地区的绑架与勒索案件呈现几何级数增长,其中尤以哥伦比亚为最。如何在拉美地区开发绑赎保险,已成为中国保险资金服务于国家对外直接投资的重要环节。本文以哥伦比
目的采用3D-UTE序列联合T2*mapping评价腰椎间盘软骨终板缺损与椎间盘退变的相关性。方法 26例受检者分别接受腰椎3D-UTE序列、T2*mapping检查。按照椎间盘有无软骨终板缺损分
<正>21世纪是一个以消费作为主导的时代,顾客的地位变得越来越重要和关键,很多商家都把顾客称之为上帝。根据一项调查显示,真正成功的企业,它们都有一个共同点,那就是它们都
严格控制投资规模合理调整投资结构郭雨顺一我国每年都以巨额资金用于固定资产投资,其中一部分用于建造新的固定资产,称作基本建设投资,另一部分用于改造原有企业的固定资产,称作
上市公司在国民经济中的地位不言而喻,其财务状况更是各方利益主体关注的重心。当前多变的经济环境迫切要求上市公司建立起适合本公司的财务危机预警模型以防被市场无情淘汰。本文选取了计算机、通信和其他电子设备制造业的深沪A股上市公司作为研究样本,建立了该行业的财务危机预警模型。在对财务危机预警领域的研究进行了阅读与整理之后,本文明确了研究思路并确立了框架。本文首先对财务危机预警领域的文章进行了研究综述,系统
建筑工程招标投标制度是比较成熟而且科学合理的工程承包发包方式,也是保证建设工程质量标准,加快工程建设进度,取得理想经济效益的最佳办法.但由于建筑市场发育尚不规范,管