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微细电火花加工及其关键技术
微细电火花加工及其关键技术
来源 :机械工程师 | 被引量 : 0次 | 上传用户:parabird
【摘 要】
:
综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展.比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用.简要分析了微细电火花加工的关键技术:微细电极的在线制作、微进给装置、微小
【作 者】
:
李刚
赵万生
【机 构】
:
哈尔滨工业大学机电学院
【出 处】
:
机械工程师
【发表日期】
:
2004年2期
【关键词】
:
微细电火花加工
LIGA
微三维结构
micro-EDM
LIGA
micro three-dimensional structure
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综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展.比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用.简要分析了微细电火花加工的关键技术:微细电极的在线制作、微进给装置、微小能量的脉冲电源、微小电极的运动轨迹规划、电极的损耗及补偿策略.展望了微细电火花加工在微三维结构加工中的应用前景.
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