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本文根据近十年来外刊有关报道,阐述了国外微电机技术的研制近况及其发展动向。文中还针对我国微电机技术的发展途径与对策提出了几点建议。
国外微电机技术发展动向
【摘 要】
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本文根据近十年来外刊有关报道,阐述了国外微电机技术的研制近况及其发展动向。文中还针对我国微电机技术的发展途径与对策提出了几点建议。
【机 构】
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西安微电机研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1992年1期
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