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随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加，大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的要求。本文对硅片切割方法、游离磨料多线切割基本原理、线切割硅片材料去除机理以及切割工艺因素进行了综述。
大直径太阳能硅片高效低损耗线切割技术研究
【摘 要】
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随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加，大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的
【机 构】
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衢州学院
【出 处】
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机电产品开发与创新
【发表日期】
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2012年6期
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