【摘 要】
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设计制作了一种适合单片光子集成回路的InP基16通道,200GHz通道间隔的阵列波导光栅(AWG)器件。采用偏振无关的深脊型波导以减小器件尺寸,提高光电子芯片的集成度。利用金属有
【机 构】
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华中科技大学武汉光电国家实验室,光学与电子信息学院,光迅科技股份有限公司,武汉邮电科学研究院,光纤通信技术和网络国家重点实验室,
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设计制作了一种适合单片光子集成回路的InP基16通道,200GHz通道间隔的阵列波导光栅(AWG)器件。采用偏振无关的深脊型波导以减小器件尺寸,提高光电子芯片的集成度。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD),光刻及感应耦合反应离子束(ICP)刻蚀技术,成功研制出芯片样品。测试结果显示,器件插入损耗约-10dB,相邻通道串扰小于-15dB。
An InP based 16-channel, 200GHz channel-separated arrayed waveguide grating (AWG) device is designed and fabricated for monolithic photonic integrated circuits. Polarization-independent, deep-ridge waveguide reduces device size and improves optoelectronic chip integration. Chip samples were successfully developed by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD), photolithography and inductively coupled reactive ion beam (ICP) etching. Test results show that the device insertion loss of about -10dB, adjacent channel crosstalk is less than-15dB.
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