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介绍了电子回旋共振微波放电等离子体中离子向衬底输运的蒙特卡罗模型，该模型考虑了精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面以及中性区与鞘层的衔接。
衬底偏压对ECR等离子体鞘层和离子行为的影响
【摘 要】
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介绍了电子回旋共振微波放电等离子体中离子向衬底输运的蒙特卡罗模型，该模型考虑了精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面以及中性区与鞘层的衔接。
【机 构】
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三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研基金,国家自然科学基金
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