【摘 要】
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为了准确测量导光板模具上微结构圆孔的直径尺寸,开发了一套基于机器视觉技术的微结构圆锥底孔在位测量系统。运用HALCON机器视觉软件对测量系统进行标定,通过混合噪声滤波、
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为了准确测量导光板模具上微结构圆孔的直径尺寸,开发了一套基于机器视觉技术的微结构圆锥底孔在位测量系统。运用HALCON机器视觉软件对测量系统进行标定,通过混合噪声滤波、亚像素边缘提取、最小二乘法拟合,最后计算出圆锥孔直径。实验结果与标准显微镜的测量数据进行对比验证了本系统能够达到±1μm的精度,满足实际生产应用的需求。
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