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在矩形不栅上镀制软Ｘ射线多层膜，得到了多层膜光栅组合式结构，报道用ＣｕＫａ线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用Ｘ射线运动学理论进行了分析，得到两个衍射条件，分别对应决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理，发现光栅级效率受多层膜反射调制。
0.154nmCu Ka射线作用下多层膜矩形光栅组合结构的特性研究
【摘 要】
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在矩形不栅上镀制软Ｘ射线多层膜，得到了多层膜光栅组合式结构，报道用ＣｕＫａ线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用Ｘ射线运动学理论进行了分析，得到两个衍射条件，分别对应决定衍射角
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1996年2期
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