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压电材料作为一种拥有优越机电耦合性能的智能材料，其力学性能受到了研究者的广泛关注。本文采用有限元方法分析压电半空间在刚性球形压头和刚性圆柱平底压头作用下的压痕响应。文中假定两种形状的刚性压头均为绝缘体压头。利用有限元软件ANSYS，本文分析了在荷载作用下，压电材料在球形和圆柱形压头作用下的压入深度、接触半径、表面接触应力和接触区域电势曲线。另外，本文还利用数值结果对理论解进行验证。