【摘 要】
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喷气式Ｚ箍缩等离子体装置产生的软Ｘ射线，波长大约在０．２～０．６ｕｍ之间，一次放电产生的软Ｘ射线能量约５０Ｊ。本文利用此软Ｘ射线源，用金属丝网作为掩模，对ＣＳＭ光刻胶进行了曝光的初步实验研究，得到了较为清晰的
【机 构】
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清华大学电机工程系，清华大学精密仪器系
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喷气式Ｚ箍缩等离子体装置产生的软Ｘ射线，波长大约在０．２～０．６ｕｍ之间，一次放电产生的软Ｘ射线能量约５０Ｊ。本文利用此软Ｘ射线源，用金属丝网作为掩模，对ＣＳＭ光刻胶进行了曝光的初步实验研究，得到了较为清晰的曝光图形。
The soft X-ray generated by the jet Z-pinch plasma device has a wavelength of about 0.2-0.6um and the soft X-ray energy generated by one discharge is about 50J. In this paper, we use the soft X-ray source, the metal mesh as a mask, the preliminary study of CSM photoresist exposure, get a more clear exposure pattern.
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