四平市高斯达纳米材料设备有限公司是由四平市高斯达风机厂、四平市纳米材料设备及应用开发研究所等组成,是法人持股的股份制企业,成立于1999年2月。一主导设备产品1)SNH型电弧
介绍了用Leica VB5电子束曝光系统在涂敷有PMMA电子束抗蚀剂的4英寸铬板上,通过扫描曝光、湿法显影、干法刻蚀等手段制作亚微米、亚半微米铬掩模版的工艺技术.
具有角度限制的电子束投影曝光技术有可能成为21世纪最有潜力的纳米光刻技术之一。通过配备缩小投影透镜、掩模承片台、基片工作台和控制用计算机,我们将一台透射电子显微镜(TE