【摘 要】
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本发明是有关氮气通过辉光放电被离子化,使其氮离子冲击于工件而进行氮化的离子氮化处理装置。以往这种装置,在1个金属容器内对工件分别施行加热、放电氮化、冷却,周期性长,
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本发明是有关氮气通过辉光放电被离子化,使其氮离子冲击于工件而进行氮化的离子氮化处理装置。以往这种装置,在1个金属容器内对工件分别施行加热、放电氮化、冷却,周期性长,而且效率低,没有批量性。另外氮化后向冷却处理移行时也有产生氧化情况。更
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