【摘 要】
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论文在深入了解有机场效应晶体管的基本理论上,对并五苯场效应晶体管的制备工艺进行讨论,制备了基于并五苯材料的有机薄膜场效应晶体管.制备工艺步骤主要包括衬底的处理与清洗、旋涂法制备绝缘层、并五苯有源层的蒸镀、电极的制备以及性能测试.期望本文的研究能够对并五苯场效应晶体管的制备提供参考.
【机 构】
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南京航空航天大学材料学院;南京航空航天大学材料学院
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论文在深入了解有机场效应晶体管的基本理论上,对并五苯场效应晶体管的制备工艺进行讨论,制备了基于并五苯材料的有机薄膜场效应晶体管.制备工艺步骤主要包括衬底的处理与清洗、旋涂法制备绝缘层、并五苯有源层的蒸镀、电极的制备以及性能测试.期望本文的研究能够对并五苯场效应晶体管的制备提供参考.
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