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一种基于微细电火花加工(EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器，以电磁线圈驱动微反射镜，本文介绍该器件特性测试及动态响应分析，结果表明，驱动电压为0～8v，工作范围0～35dB，动态响应时间为2ms，插入损耗小于0．8dB，回波损耗小于-50．5dB。
一种MEMS可调光衰减器性能测试及动态响应分析
【摘 要】
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一种基于微细电火花加工(EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器，以电磁线圈驱动微反射镜，本文介绍该器件特性测试及动态响应分析，结果表明，驱动电压为0～8v，工作范围0～35dB，动态响应时间
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年4期
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