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采用溶胶-凝胶金属氧化物半导体薄膜，作为表面等离子体激元共振效应的光化学传感器的传感介质。分析了金属Ag膜与传感薄膜的光学参数对传感器灵敏度的影响。通过在金属层与传感层之间优化设计中间层，进一步提高了传感器灵敏度。选择SnO2薄膜及SiO2薄膜作为传感层与中间层，对三种气体NH3、C2H5OH、C3H8进行气敏实验，结果表明结构优化的传感器具有更高的灵敏度。