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纳米复合薄膜材料不仅具有传统复合材料高性能特点,同时还拥有现代纳米材料优点,正逐渐成为纳米材料的重要分支,而越来越引起更多的重视和广大的研究。该文全面介绍了纳米复合薄膜的发展历史、不同的制备方法、优良的性能及其未来的应用前景。特别介绍了离子体化学气相沉积技术（PCVD）、溶胶-凝胶法（sol-gel）、溅射法（Sputtering）以及热分解化学气相沉积技术（CVD）方法及各自的特点。提出了纳米复合薄膜材料研究的关键问题以及今后的发展方向。