【摘 要】
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设计一种BCD工艺,主要应用于高压电源管理芯片的设计开发,工艺最高可实现将600V高压LDMOS器件,双极器件和CMOS器件集成在同一硅片上,以满足各种类型的低压电源管理电路和高压
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设计一种BCD工艺,主要应用于高压电源管理芯片的设计开发,工艺最高可实现将600V高压LDMOS器件,双极器件和CMOS器件集成在同一硅片上,以满足各种类型的低压电源管理电路和高压功率管的集成设计,设计过程中基于一款开关电源电路,实现了工艺仿真,芯片版图制作,工艺厂流片,器件测试验证等各个流程,测试结果显示,工艺平台设计满足要求。
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