【摘 要】
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藉助SEM和MICRO RAMAN ,我们研究了在退火和在镍衬底上金刚石形核中甲烷CH4 的影响。CH4 的浓度分别为 0 % ,0 5 % ,1 5 %和 2 5 % ,其中当甲烷浓度为 1 5 %时 ,金刚石在
【机 构】
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中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所 北京100080,北京100080,北京100080,北京100080
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藉助SEM和MICRO RAMAN ,我们研究了在退火和在镍衬底上金刚石形核中甲烷CH4 的影响。CH4 的浓度分别为 0 % ,0 5 % ,1 5 %和 2 5 % ,其中当甲烷浓度为 1 5 %时 ,金刚石在镍衬底上金刚石形核密度为 3× 1 0 8/cm2 ,这个结果高于以前的结果。金刚石膜的质量是好的。
Using SEM and MICRO RAMAN, we investigated the effect of methane CH4 on annealing and in diamond nuclei on nickel substrates. The concentration of CH4 is 0%, 0 5%, 15% and 25% respectively. When the concentration of methane is 15%, the diamond nucleation density of diamond on nickel substrate is 3 × 10 8 / cm 2. The result is higher than the previous result. The quality of the diamond film is good.
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