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为了提高激光微加工质量，对激光焦斑进行整形，采用菲涅尔衍射公式进行了理论分析，基于遗传算法和设计约束条件通过Matlab设计了两种二元相位元件，O兀结构四环相位板的归一化半径尺寸r1=0．15、r2=0．70、r3=0．81，非0-π结构四环相位板的归一化半径尺寸为r1=0．25、r2=0．498、r3=0．652，从内到外各环对应的相位为2．879、3．087、0、3．012，采用这两种位相板调制后的纵向光斑大小可压缩至艾丽斑的76％和75％，峰值能量比分别为0．39和0．42，旁瓣能量分别为0．64和