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MBE生长HgCdTe材料的As掺杂退火的研究
MBE生长HgCdTe材料的As掺杂退火的研究
来源 :红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zgl_0251
【摘 要】
:
1 引言近年来,随着碲镉汞(HgCdTe或MCT)红外焦平面(IRFPA)技术的快速发展,器件对材料的电学性质、面积和均匀性等参数的要求迅速提高.
【作 者】
:
徐非凡
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
:
红外
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
MBE生长
HGCDTE材料
碲镉汞化合物
半导体材料
As掺杂
砷掺杂
退火
分子束外延生长
红外焦平面探测器
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1 引言近年来,随着碲镉汞(HgCdTe或MCT)红外焦平面(IRFPA)技术的快速发展,器件对材料的电学性质、面积和均匀性等参数的要求迅速提高.
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