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应用电磁场理论对微细电火花加工（MicroElectricalDischargeMachining,Micro—EDM）损耗机理进行分析，建立了加工中工具电极电场分布的数学模型。应用ComsolMuhiphysics软件对此模型进行了计算与模拟，分析了电场强度的变化对电极形状变化的影响，并指出在靠近放电点位置和底部电极形状改变后，集肤效应的作用被削弱。实验验证了仿真结果和所提出损耗机理的正确性，为电极损耗补偿策略和加工精度的提高提供了理论依据。