【摘 要】
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为了改进绝热微环谐腔型的结构、降低谐振腔腔体损耗,采用了基于绝热过渡曲线的设计方法,提出了新型载流子注入/抽取结构,进行了理论分析和实验验证,取得了绝热微环谐振腔的
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为了改进绝热微环谐腔型的结构、降低谐振腔腔体损耗,采用了基于绝热过渡曲线的设计方法,提出了新型载流子注入/抽取结构,进行了理论分析和实验验证,取得了绝热微环谐振腔的谐振峰线宽、消光比及频率响应参量数据,比较了其与传统微环谐振腔的损耗。结果表明,使用所设计的外半径为2μm的谐振腔的谐振峰线宽仅为普通微环谐振腔的29.5%,消光比为13.5d B,电阻电容限制带宽提高了4倍,10Gbit/s调制速率下能耗仅为5.1f J/bit。这一结果大幅改善了绝热微环谐振腔的频率响应特性,降低了功耗。对腔形和载流子注入/
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