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情性气体卤素准分子激光器于1976年第一次问世之后，达到了相当高的水平，成为强有力的紫外光源。其特点是：从远紫外到红外范围内都有发射谱线，能量和输出功率都很高。高速气体循环使重复率超过100赫，导致紫外范围的平均输出功率达10瓦，腐蚀性气体氟气(F2)的处理也可以简化为只需按动开关操作。所以，准分子激光器是种种应用领域中的有力工具，这些应用包括：非线性光谱学，激光引起的催化反应、光激发、同位素分离、化学物质净化等各种光化学过程和染料激光器泵浦源等。