【摘 要】
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以原子力显微镜（AFM）为加工工具进行了纳米级加工实验，对不同加工条件下的材料去除过程和切屑形态进行了研究．切屑形态通过扫描电子显微镜（SEM）进行观察，分析了不同垂直载荷、循环次
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50375040）
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以原子力显微镜（AFM）为加工工具进行了纳米级加工实验，对不同加工条件下的材料去除过程和切屑形态进行了研究．切屑形态通过扫描电子显微镜（SEM）进行观察，分析了不同垂直载荷、循环次数和针尖加工方向下铝铜被加工表面的切屑形成过程．实验结果表明：低栽下切屑呈细小断屑，散布在加工区域周围；随着垂直载荷的增加，切屑逐渐变成连续的带状切屑．不同循环次数、针尖加工面时切屑形成都有很大影响．在此基础上，对比分析了相同实验条件下，不同力学性能材料的切屑形成过程．最后，通过检测被加工表面得出被加工表面质量与切屑的数量和形态
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