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将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar+离子轰击Ta2O5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta2O5和TaxOy,并且能提高探测灵敏度。更多还原
因子分析法在Ta2O5／Ta俄歇深度剖析上的应用
【摘 要】
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将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar+离子轰击Ta2O5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种
【机 构】
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复旦大学真空物理实验室,中科院北京真空物理实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1993年1期
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