【摘 要】
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阐述了采用nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术制备TCO镀膜玻璃时，在TCO玻璃生产线上出现的玻璃连续炸裂的问题，通过分析和多次对加热炉温度曲线、气浮台高度、镀膜腔室尾气排放量、
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阐述了采用nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术制备TCO镀膜玻璃时，在TCO玻璃生产线上出现的玻璃连续炸裂的问题，通过分析和多次对加热炉温度曲线、气浮台高度、镀膜腔室尾气排放量、加热炉与镀膜腔室间隙等工艺及设备调整，对可能存在的原因逐一排查，最终确定炸裂的主要因素，并加以改进，使离线式TCO镀膜玻璃炸裂问题得到了最终解决。
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