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研究了反应烧结碳化硅（Ｓｉ／ＳｉＣ）材料在９００℃时的氧化过程及添加Ｎｉ、Ａｌ元素对其氧化过程的影响。结果表明，Ｓｉ／ＳｉＣ材料的氧化过程遵循抛物线规律，并在Ｓｉ／ＳｉＣ材料氧化表面出现针状ＳｉＯ２。Ｓｉ／ＳｉＣ中添加Ｎｉ、Ａｌ元素后，氧化表面比较光滑，针状ＳｉＯ２消失，从而提高了其抗氧化能力。