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本文叙述用辉光放电分解SiF_2和H_2的混合物形成无定形a-Si:F:H薄膜。这种薄膜具有高电导率,高载流子寿命,高热稳定性以及低杂质扩散等优点,并试从结构上加以初步分析。
无定形a—Si：F：H的特点及其微观分析
【摘 要】
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本文叙述用辉光放电分解SiF_2和H_2的混合物形成无定形a-Si:F:H薄膜。这种薄膜具有高电导率,高载流子寿命,高热稳定性以及低杂质扩散等优点,并试从结构上加以初步分析。
【机 构】
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上海工程技术大学纺织学院
【出 处】
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上海工程技术大学学报
【发表日期】
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1994年2期
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