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为了提高大功率LED的光抽取效率，采用溶胶-凝胶法、水热生长法的两步生长工艺在大功率红光发光二极管（LEDs）表面制作ZnO纳米棒阵列结构进行研究。利用ZnO纳米棒形成的光波导，ZnO纳米棒侧面为辅助出光面，提高了LED芯片的光输出效率。测试表明，所生长的ZnO纳米棒分布密度均匀，形貌一致；与未制作ZnO纳米棒前相比较，LED的电流-电压特性与发光光谱未发生明显变化；当输入电流为310mA时，光抽取效率提高约15％。