【摘 要】
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针对当前阻变存储器（RRAM）面临的功耗和高密度存储的问题,介绍了一种降低功耗和形成多值存储能力的器件结构.相比单层结构的AlON RRAM,双层结构的WOx/AlON RRAM具有低至10μA的
【机 构】
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复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室
【基金项目】
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国家“863”高技术研究发展计划资助项目(2008AA031401,2011AA010404);上海市自然科学基金重点项目(12XD1400800);国家自然科学基金资助项目(2011ZX02502)
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针对当前阻变存储器（RRAM）面临的功耗和高密度存储的问题,介绍了一种降低功耗和形成多值存储能力的器件结构.相比单层结构的AlON RRAM,双层结构的WOx/AlON RRAM具有低至10μA的复位（reset）电流,1 000次以上的转换特性（endurance）,较低的操作电压,以及多值存储等性能.针对WOx/AlONRRAM,提出了WOX介质层的等效电路模型为固定电阻与二极管串联模型.在直流置位（DC set）过程中,电路中存在一个较大的过冲电流,使得无法通过控制限流来获得不同大小的低阻态.在增加
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