【摘 要】
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<正> 半导体工业用的超纯气体有氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等。它们大部分是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂
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<正> 半导体工业用的超纯气体有氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等。它们大部分是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制的。常用的纯化方法以工业规模为主,也采用一些实验室方法及简易纯化装置,概括起来有:低温精馏法、吸附法、吸收法、薄膜扩散法,化学反应法等几种。各国都是按照自己的原料气来源情况、杂质组份含量和所要求达到的纯度来选择适当的制备方法。 (一)超纯氢的制备粗氢的来源主要有:烃的蒸汽重整和部分氧化,水的电介、氨或甲醇的催化热解,各种含氢尾气的回收以及正在研究中的煤的气化,热化学分解水等。美国天然气、石油资源比较丰富,多采用烃类蒸气重整和部分氧化获得粗氢,经纯化制成液氢后向用户提
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