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研究了用离子束辅助沉积技术在玻璃面交替镀覆高折射率和低折射率膜，从冷光灯大量生产的需要出发，对离子源的结构以及镀膜系统作了改进。
用离子束辅助沉积技术制备ZnS／MgF2膜
【摘 要】
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研究了用离子束辅助沉积技术在玻璃面交替镀覆高折射率和低折射率膜，从冷光灯大量生产的需要出发，对离子源的结构以及镀膜系统作了改进。
【机 构】
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上海交通大学表面工程研究所
【出 处】
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玻璃与搪瓷
【发表日期】
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1999年1期
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