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设计并制作了一套具有真空蒸发沉积和化学气相沉积两种薄膜制备功能的系统.性能参数测试结果表明,该系统既能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,又具有完好的真空镀膜功能,且该仪器简便直观,操作方便.
多功能薄膜制备系统的设计与制作
【摘 要】
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设计并制作了一套具有真空蒸发沉积和化学气相沉积两种薄膜制备功能的系统.性能参数测试结果表明,该系统既能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,又具有完好的真空镀膜
【机 构】
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湘潭大学材料与光电物理学院
【出 处】
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岳阳师范学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年1期
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