垂直Bridgman生长CdTe过程的数值模拟

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hjuns2002
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采用 Galerkin有限元算法 ,计算了垂直 Bridgman生长 Cd Te过程中的温场分布、液体流动和固液界面的形状 ,分析了生长速率、温区分布等参数对固液界面的影响 .计算结果表明 ,较小的生长速率可以获得更为平坦的固液界面 ,适当增加结晶区域的温度梯度也是改善固液界面形状的一个有效方法 .同时 ,通过对生长系统中的热流分析 ,表明在生长过程的中间阶段 ,热量交换主要集中在梯度区附近 ,而坩埚两端与外部环境的热量交换较少 The Galerkin finite element method was used to calculate the temperature field distribution, liquid flow and solid-liquid interface shape during vertical Bridgman’s growth of CdTe. The effects of growth rate and temperature distribution on the solid-liquid interface were analyzed. The smaller growth rate can obtain more flat solid-liquid interface, and proper increase of temperature gradient in the crystalline region is also an effective method to improve the shape of solid-liquid interface.At the same time, the analysis of heat flow in the growth system shows that in the middle of the growth process Stage, the heat exchange is mainly concentrated in the vicinity of the gradient zone, and the heat exchange between the two ends of the crucible and the external environment is less
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