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三氯氢硅不仅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体，也是制造多晶硅的主要原料，是氯碱企业的一种很好的平衡氯气提高经济效益的产品。传统工艺合成三氯氢硅时，合成工序采用的是冷却水传热流化床。受限于流化床本身的结构，很难将温度控制在适宜的320℃，因此合成的粗品三氯氢硅产品纯度一般〈90％。同时传统工艺尾气处理环节一直采用干法除尘，如硅粉和氯化氢处理不彻底，会堵塞冷凝器，导致停车。