【摘 要】
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采用脉冲磁控溅射系统在玻璃衬底上制备了ZnO∶B薄膜,利用霍尔测试仪和紫外-可见光-近红外分光光度计及逐点无约束最优化法,研究了溅射气压（0.1～3 Pa）对ZnO薄膜的光学和电学特性
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采用脉冲磁控溅射系统在玻璃衬底上制备了ZnO∶B薄膜,利用霍尔测试仪和紫外-可见光-近红外分光光度计及逐点无约束最优化法,研究了溅射气压（0.1～3 Pa）对ZnO薄膜的光学和电学特性的影响。结果表明：ZnO∶B薄膜在可见光区域内的平均透光率高于80%,近红外波段的透过率及薄膜的电阻率与溅射气压成正比;折射率n随溅射气压降低呈下降趋势,其值介于1.92～2.09之间;在较低的溅射气压下（PAr=0.1 Pa）获得的薄膜电阻率最小（3.7×10-3Ω.cm）,且对应着小的光学带隙（Eg=3.463
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