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采用阳极氧化和湿化学腐蚀方法在铝片上制备周期性铝纳米坑织构,实现了铝纳米坑的尺寸调控。使用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见-近红外分光光度计和光散射装置研究了铝表面周期性纳米坑织构的形貌和光学特性。利用时域有限差分法(FDTD)理论上研究了纳米坑织构对非晶硅薄膜太阳电池光吸收的影响。结果表明,具有周期性纳米坑织构的铝片作为非晶硅薄膜太阳电池的背电极可以有效提高电池硅吸收层在200~1 100 nm波长范围内对光的吸收,且总吸收率提高了16%。