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鉴于气体促动系统简单、经济并具有快速反应的特点，设计了一种用于主动光学的无摩擦线性气体力促动器结构，以及相应的高频高精度电磁比例调压阀，并做了仿真分析和实验验证，结果表明比例阀调压的气体力促动器输出力在±100N范围内精度可达O．05N，PID控制的力促动频率达到0．5Hz以上。
用于主动光学的气体力促动器设计
【摘 要】
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鉴于气体促动系统简单、经济并具有快速反应的特点，设计了一种用于主动光学的无摩擦线性气体力促动器结构，以及相应的高频高精度电磁比例调压阀，并做了仿真分析和实验验证，结果表
【机 构】
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中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,中国科学院天文光学技术重点实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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液压与气动
【发表日期】
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2011年9期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10833004）
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