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介绍了一种实用超高真空相对比对校准系统。该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点，可以满足在10^-7～10^-5Pa范围内超高真空规的比对校准。
实用超高真空比对校准系统
【摘 要】
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介绍了一种实用超高真空相对比对校准系统。该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点，可以满足在10^-7～10^-5Pa范围内超高真空规的比对校准。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2009年1期
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