【摘 要】
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机械期刊要文导读微型机械的现状与发展《机械工程学报》１９９４．Ｎｏ２，１～８关于微型机械，按照通常的界定，尺寸在１～１００ｍｍ的可小型机构，１０μｒｎ～１ｍｍ的为微型机构，１０ｕｒｎ～１０ｕｒｎ的为超微型机构。到８０年代末期，微型机械的发展已步入在小
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机械期刊要文导读微型机械的现状与发展《机械工程学报》１９９４．Ｎｏ２，１～８关于微型机械，按照通常的界定，尺寸在１～１００ｍｍ的可小型机构，１０μｒｎ～１ｍｍ的为微型机构，１０ｕｒｎ～１０ｕｒｎ的为超微型机构。到８０年代末期，微型机械的发展已步入在小...
Journal of Mechanical Periodicals Guide the Current Situation and Development of Micromachines Journal of Mechanical Engineering 1994. Nos. 2, 1 to 8 Regarding the micromachine, the micromachine generally has a size of 1 to 100 mm, a size of 10 to 1 mm, a size of 10 to 10 rpm, and a size of 10 to 10 rpm. By the late 1980s, the development of micro-machinery has entered a small ...
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