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本文通过对电容式微机械加速度传感器的原理进行分析,针对影响传感器性能的非欧姆接触因素进行分析,从而进行关于微机械加速度传感器的温度补偿电路设计,通过稳定性测试手段来验证本文设计的可靠性与可行性。
微机械加速度传感器可靠性设计与实现
【摘 要】
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本文通过对电容式微机械加速度传感器的原理进行分析,针对影响传感器性能的非欧姆接触因素进行分析,从而进行关于微机械加速度传感器的温度补偿电路设计,通过稳定性测试手段
【机 构】
：
肇庆学院
【出 处】
：
电子测试
【发表日期】
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2014年1X期
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