【摘 要】
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研究了一种用薄膜工艺制成的分布参数LC网络延迟线。在最新的大规模集成电路计算机系统的超高速逻辑电路中,因为一般的用分立电容和绕线式电感组成的延迟线达不到1毫微秒上升
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研究了一种用薄膜工艺制成的分布参数LC网络延迟线。在最新的大规模集成电路计算机系统的超高速逻辑电路中,因为一般的用分立电容和绕线式电感组成的延迟线达不到1毫微秒上升时间的脉冲响应和产生的可观的波形畸变,所以不能应用。此外,这类延迟线还存在工艺过程质量不易控制、可靠性差、特性不均匀等缺点。
A kind of distributed parameter LC network delay line made by thin film technology was studied. In the latest high-speed logic circuits of large scale integrated circuit computer systems, because the general delay line consisting of discrete capacitors and wound inductors does not reach the impulse response of 1 nanosecond rise time and the resulting considerable waveform distortion , So can not be applied. In addition, there are still such delay line quality is not easy to control the process, the reliability is poor, the characteristics of non-uniform shortcomings.
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