应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备

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【摘要】

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<正>全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司,在加利福尼亚州圣何塞举行的国际光学工程学会(SPIE)先进光刻技术大会上,推出了业

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2015年03期

【关键词】

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应用材料公司 FinFET 量测设备晶体管革命性

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<正>全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司,在加利福尼亚州圣何塞举行的国际光学工程学会(SPIE)先进光刻技术大会上,推出了业界首款在线3D扫描电子线宽量测系统,成功解决了针对高纵横比和3D NAND及Fin FET等复杂功能器件量测方面的挑战。这款名为Verity SEM 5i的量测系统借助尖端高清晰度成像技术和背散射

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