应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zgr2020

【摘要】

：

<正>全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司,在加利福尼亚州圣何塞举行的国际光学工程学会(SPIE)先进光刻技术大会上,推出了业

【出处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2015年03期

【关键词】

：

应用材料公司 FinFET 量测设备晶体管革命性

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

<正>全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司,在加利福尼亚州圣何塞举行的国际光学工程学会(SPIE)先进光刻技术大会上,推出了业界首款在线3D扫描电子线宽量测系统,成功解决了针对高纵横比和3D NAND及Fin FET等复杂功能器件量测方面的挑战。这款名为Verity SEM 5i的量测系统借助尖端高清晰度成像技术和背散射

其他文献

校准调整估计量线性和指数距离函数的比较

一、问题的提出校准调整估计量可以利用总体的辅助信息提高估计的精度。它的基本思想是在已知调查总体的一些必要的辅助信息的基础上，在一定的约束条件下，对初始权数进行调整，得

期刊

估计量距离函数校准指数线性辅助信息总体权数

改进的最小二乘估计确定高精度参数模型

本文将2006年研究生数学建模竞赛进一步讨论，对于观测数据不准确的情况，先将模型转化为差分形式，用最小二乘估计方法对参数进行估计，当设计矩阵呈病态时，最小二乘估计变的不是很精

期刊

差分最小二乘法JACOBI迭代

建材家居市场发展历程与发展趋势

全国已形成了规模庞大的建材家居市场行业大军,这是一个在市场经济运行下产生的新型行业,年营业额达1.15万亿元。目前我国建材家居市场发展的大趋势是:正步入创造精品品牌的

会议

建材家居市场

水浴法及微波辅助法提取枇杷叶多酚类物质工艺的研究

以阴干枇杷叶为原料,对比水浴法和微波辅助法提取多酚类物质,微波辅助法比水浴法提取多酚类物质得率高,并采用响应面法优化微波辅助法提取工艺,结果表明:在乙醇浓度为50%条件

期刊

枇杷叶多酚类物质水浴法微波辅助法响应面法优化

资本项目开放下的汇率波动与汇率制度选择

传统的汇率制度选择模型没有考虑真实汇率波动的失稳效应。然而最近的研究表明由于负债的美元化,这些波动在新兴市场上有真实成本。本文构建的模型是基于汇率的不可预期性对

期刊

汇率制度选择产出波动真实汇率失稳效应

长白山生态旅游发展研究

长白山是东北亚地区至关重要的生态保护屏障,同时又是中国第三代旅游开发的领军景区。在充分发挥其生态功能的同时,长白山旅游业的发展存在许多值得关注的问题。本文对长白山

期刊

长白山生态旅游发展规划

应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备

与本文相关的学术论文