高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lsgaoyan2009

【摘要】

：

面向"智慧海洋"应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO_2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,

【作者】

：

胡凯凯尹加文麦裕良栾安博郜晚蕾金庆辉

【机构】

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宁波大学信息科学与工程学院,广东省石油化工研究院技术开发中心,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

【出处】

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传感器与微系统

【发表日期】

：

2021年01期

【关键词】

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海洋温/盐/酸度微纳传感器微机电系统(MEMS)技术批量制造高精度网格化测量 oceanic temperature/salinity/aciditym

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(61871243,61701267),浙江省自然科学基金资助项目(LGF18F010004),微系统技术国防重点实验室开放基金资助项目(6142804190105),宁波大学“海洋生物技术与海洋工程”学科群基金和宁波大学K.C.Wong Magna基金资助项目

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