孔径的光波干涉比较测量方法

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精密孔,以直径在5毫米以上,孔深小于孔径十倍的(1/d≤10)这一类用得较为普遍.这类孔本身的表面加工粗度达到11~13级,孔径公差为0.5~11微米.要求在测量时,测量的极限误差不大于±0.1~0.3微米.对于这一类孔径的测量可采用高精度的比较仪,使被测孔与内端面标准具相比较的 Precision hole to the diameter of 5 mm above the hole depth less than ten times the aperture (1 / d ≤ 10) This category is more commonly used.The hole itself surface roughness of 11 to 13, the aperture tolerance 0.5 ~ 11 microns.Requirements in the measurement, the measurement limit error is not greater than ± 0.1 ~ 0.3 microns.For this type of aperture measurement can be used high-precision comparator, so that the measured hole and the inner end of the etalon compared
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