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采用喷雾热解法，以四氯化锡和氟化铵为原料、喷瓶为雾化装置，在载玻片上制得氟掺杂二氧化锡（FTO）透明导电薄膜。运用XRD、SEM、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪分别对薄膜进行了表征。研究了喷涂次数、衬底温度、前体浓度、掺杂浓度和醇水比对FTO薄膜光电性能的影响。结果表明，当衬底温度为500℃，SnCl4·5H2O浓度为0．81mol／L，NH4F浓度为0．1mol／L，醇水比为8：2，喷涂100次时，薄膜的光电性能较好，其方块电阻为13Ω/□，平均透光率为79％。