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CMOS器件总剂量效应长线传输在线测试系统
CMOS器件总剂量效应长线传输在线测试系统
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuehua812
【摘 要】
:
主要介绍了长线在线测试系统在^60Co源辐场中的应用,实验中,解决了辐射场低能散射对小电流测量带来的影响问题,在线测量减少了移位测量中的操作繁琐及退火效应带来的差异。该系
【作 者】
:
关颖
林东生
等
【机 构】
:
西北核技术研究所
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
CMOS器件
在线测量
总剂量辐射
低能散射
CMOS device
Online test
Total dose radiation
Lowenergy
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主要介绍了长线在线测试系统在^60Co源辐场中的应用,实验中,解决了辐射场低能散射对小电流测量带来的影响问题,在线测量减少了移位测量中的操作繁琐及退火效应带来的差异。该系统具有操作简单、测量方便、测量数据可靠的特点。
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