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建立了激光微细熔覆温度场模型,并推导出了布线线宽随激光功率及激光扫描速度的定量公式,通过它可以预测激光微细熔覆过程中形成给定线宽导线的激光参数.实验结果验证了该模型和实际情况符合得很好,具有很好的实用性.
激光微细熔覆温度场模型的构建与应用
【摘 要】
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建立了激光微细熔覆温度场模型,并推导出了布线线宽随激光功率及激光扫描速度的定量公式,通过它可以预测激光微细熔覆过程中形成给定线宽导线的激光参数.实验结果验证了该模
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2005年6期
【基金项目】
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中国科学院资助项目，国家科技攻关项目
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