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为了提高磨齿机的可靠性和齿轮的加工质量，对磨齿机磨削精度的特点进行了分析，并简述了常见故障模式的特点。采用故障树分析（FTA）方法对公法线超差、齿面光洁度差和齿形超差3个故障模式进行了故障原因的逐层分解，找出了造成故障的根本原因。以齿形超差为例进行了故障树的定量分析，并计算了齿形超差的发生概率。按发生概率的大小对底事件进行了重要度排序，并对重要度较高的事件提出了可靠性控制措施。